一、概念
    微型機械加工或稱微型機電系統或微型系統是只可以批量製作的、集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、甚至外圍接口、通訊電路和電源等於一體的微型器件或系統。其主要特點有：體積小（特徵尺寸範圍為：1μm-10mm）、重量輕、耗能低、性能穩定；有利於大批量生產，降低生產成本；慣性小、諧振頻率高、響應時間短；集約高技術成果，附加值高。微型機械的目的不僅僅在於縮小尺寸和體積，其目標更在於通過微型化、集成化、來搜索新原理、新功能的元件和系統，開闢一個新技術領域，形成批量化產業。

    微型機械加工技術是指製作為機械裝置的微細加工技術。微細加工的出現和發展早是與大規模集成電路密切相關的，集成電路要求在微小面積的半導體上能容納更多的電子元件，以形成功能複雜而完善的電路。電路微細圖案中的最小線條寬度是提高集成電路集成度的關鍵技術標誌，微細加工對微電子工業而言就是一種加工尺度從微米到納米量級的製造微小尺寸元器件或薄模圖形的先進位造技術。目前微型加工技術主要有基於從半導體集成電路微細加工工藝中發展起來的矽平面加工和體加工工藝，上世紀八十年代中期以後在LIGA加工（微型鑄模電鍍工藝）、准LIGA加工，超微細加工、微細電火花加工（EDM）、等離子束加工、電子束加工、快速原型製造（RPM）以及鍵合技術等微細加工工藝方面取得相當大的進展。

    微型機械系統可以完成大型機電系統所不能完成的任務。微型機械與電子技術緊密結合，將使種類繁多的微型器件問世，這些微器件採用大批量集成製造，價格低廉，將廣泛地應用於人類生活眾多領域。可以預料，在本世紀內，微型機械將逐步從實驗室走向適用化，對工農業、信息、環境、生物醫療、空間、國防等領域的發展將產生重大影響。微細機械加工技術是微型機械技術領域的一個非常重要而又非常活躍的技術領域，其發展不僅可帶動許多相關學科的發展，更是與國家科技發展、經濟和國防建設息息相關。微型機械加工技術的發展有著巨大的產業化應用前景。

    二、國外發展現狀
    1959年，RichardPFeynman（1965年諾貝爾物理獎獲得者）就提出了微型機械的設想。1962年第一個矽微型壓力傳感器問世，氣候開發出尺寸為50～500μm的齒輪、齒輪泵、氣動渦輪及聯接件等微機械。1965年，史丹福大學研製出矽腦電極探針，後來又在掃描隧道顯微鏡、微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學伯克利分校研製出轉子直徑為60～12μm的利用矽微型靜電機，顯示出利用矽微加工工藝製造小可動結構並與集成電路兼容以製造微小系統的潛力。